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電商MRO供應鏈德國optrisc歐普士單體CSmicro在西門子工藝中使用紅外測溫儀實現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù)

日期:2025-04-27 01:44
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摘要:在西門子工藝中使用紅外測溫儀實現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù) 硅的發(fā)射率隨溫度、波長和表面特性的變化而變化,從而在不同光譜范圍內產生復雜的動態(tài)行為。為了可靠地測量硅的溫度,建議使用 1 μm 左右的短紅外波長,因為在這種波長下,盡管溫度發(fā)生變化,硅的發(fā)射率仍然保持穩(wěn)定。雙色測溫儀具有優(yōu)勢,因為它們不需要填充整個視場來測量棒溫。當存在氫氣時,雙色測溫儀可與防爆外殼一起使用。 光纖 CTratio 雙色測溫儀可有效測量基底或沉積多晶硅薄膜的溫度。這些兩件式測溫儀結構緊湊,配備有柔性光纖,可安裝在狹窄或難以觸及的區(qū)域。其設計...
在西門子工藝中使用紅外測溫儀實現(xiàn)可靠的硅溫度讀數(shù)
硅的發(fā)射率隨溫度、波長和表面特性的變化而變化,從而在不同光譜范圍內產生復雜的動態(tài)行為。為了可靠地測量硅的溫度,建議使用 1 μm 左右的短紅外波長,因為在這種波長下,盡管溫度發(fā)生變化,硅的發(fā)射率仍然保持穩(wěn)定。雙色測溫儀具有優(yōu)勢,因為它們不需要填充整個視場來測量棒溫。當存在氫氣時,雙色測溫儀可與防爆外殼一起使用。
光纖 CTratio 雙色測溫儀可有效測量基底或沉積多晶硅薄膜的溫度。這些兩件式測溫儀結構緊湊,配備有柔性光纖,可安裝在狹窄或難以觸及的區(qū)域。其設計可承受惡劣的工作條件,包括高溫、振動和化學接觸。比色技術通過比較兩種不同波長光的強度來提供**的溫度測量,從而減少因發(fā)射率變化、光學干擾或光路阻尼等因素造成的誤差。
不過,有些設備還是傾向于使用單色測溫儀,因為單色測溫儀只測量單一波長,可能會受到發(fā)射率變化的影響。他們追求的是西門子過程的可重復性,而不是**的溫度。然而,在雙色裝置中,智能比率模式可以讓測溫儀了解發(fā)射率或比率的變化,即使兩個波長的發(fā)射率變化不一致,也能確保測量的準確性。

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2025/4/24

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